福州氦質(zhì)譜檢漏儀-博為光電(推薦商家)
年泄漏率大的標準漏孔,要注意經(jīng)常校準。如果發(fā)現(xiàn)異常,要用外置漏孔校準。注意使用的環(huán)境。標準漏孔的生產(chǎn)、檢測,都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔,對溫度特別敏感。溫度每變化1℃,標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如,夏天,室溫達到30℃,這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,氦質(zhì)譜檢漏儀,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
正壓漏孔的校準
正壓漏孔校準裝置一般采用定容法和恒壓法兩種工作原理。在此基礎上又研究了累積比較法、標準氣體法、流量比較法、壓力比較法、質(zhì)譜計法等各種方法,但都以定容法和恒壓法為基礎。1997年美國材料和測試學會“校準氣體參考漏孔的標準規(guī)范”。該規(guī)范毛細管—水柱位移法為恒壓法,氣體累積法為定容法。歐洲標準化1995年(centc138wfg/6n3rev3)也采用類似毛細管—水柱位移法。瑞士balzers公司在1995年建立了基于恒壓法的正壓漏孔的校準系統(tǒng)。我國是采用恒壓法測量,測量范圍10-7—10-5pam3/s。我們采用質(zhì)譜比較法校準,準確數(shù)據(jù)由510所科委計量站提供。
真空漏孔用于正壓時,該漏孔的標定值要改變。正壓檢測漏率范圍10-3—10-8pam3/s是過渡流。過渡流的計算較復雜,如用真空漏孔替代正壓條件進行換算,工程應用上較為不便,因此必須正壓檢漏時用正壓標準漏孔做比較準。正壓漏孔在使用時,其供氣壓力氦氣濃度應一致。正壓漏孔的研究國內(nèi)外起步均比較晚,但它已在大型燃料貯箱、運載火箭氫氧系統(tǒng)成功應用。但是正壓漏孔的制作、校準、應用與其氣流特性均需在實踐中進一步完善發(fā)展。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對真空設備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統(tǒng)。
我們知道氣體在電子的轟擊下會產(chǎn)生帶電粒子,帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力,而在磁場的作用下將做圓周運動,而具有不同質(zhì)荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離,這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運動并依質(zhì)荷比進行分離的學科稱為質(zhì)譜學。根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應用。
檢漏的基本任務靠采取一些標準檢漏技術(shù)來完成,而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。
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