AIS主動(dòng)隔振系統(tǒng)的應(yīng)用場(chǎng)景

active isolation system-ais主動(dòng)隔振系統(tǒng)
系統(tǒng)概述
主動(dòng)隔振系統(tǒng)（ais）由控制箱plc, 氣路總成maintenance unit, 數(shù)據(jù)線can-bus, 控制器16 bit-controllers（spc-lc), 高速電磁閥high speed electro-pneumatic servo valves和空簧biair air springs and/or habtm horizontal air springs所組成。
為了適用于不同的情況（承載、布局要求）,每套主動(dòng)隔振系統(tǒng)可以選用不同型號(hào)的空簧和電磁閥進(jìn)行組合。每組空簧都通過(guò)一個(gè)16位控制器（spc-lc)和一個(gè)高速電磁閥進(jìn)行單獨(dú)控制。每套主動(dòng)隔振系統(tǒng)（ais）由較少3組（三自由度）較多6組空簧六自由度）組成。所有控制器（spc-lc)通過(guò)線（can-bus）與控制箱（plc）相連。
每個(gè)控制器（spc-lc)都直接安裝在空簧上并且直接控制空簧的狀態(tài)?？刂破?spc-lc)內(nèi)含有：一個(gè)16位的微處理芯片，一個(gè)位移傳感器（分辨率0.2微米），一個(gè)加速度傳感器（分辨率8μg），一個(gè)氣壓傳感器（分辨率0.2mbar）。上述所有傳感器的信號(hào)采樣頻率為4千赫茲。其中16位的微處理芯片可通過(guò)內(nèi)置的特殊算法對(duì)高速電磁閥發(fā)出相應(yīng)的控制指令從而調(diào)整相連的空簧的工作狀態(tài)，使得整個(gè)主動(dòng)隔振系統(tǒng)在不需要前置反饋信號(hào)的情況下達(dá)到，實(shí)時(shí)的隔振效果?？刂葡洌╬lc)可以通過(guò)端口（rs232)或以太網(wǎng)接口和電腦（pc）連接進(jìn)行控制，調(diào)試和故障診斷等工作。
控制箱（plc)可以通過(guò)端口（rs232)和電腦（pc）連接進(jìn)行控制，調(diào)試和故障診斷等工作。每個(gè)控制器（spc-lc)都直接安裝在空簧上并且直接控制空簧的狀態(tài)。
控制器(spc-lc)內(nèi)含有：一個(gè)16位的微處理芯片，一個(gè)位移傳感器（分辨率0.2微米），一個(gè)加速度傳感器（分辨率8μg），一個(gè)氣壓傳感器（分辨率0.2mbar）。
系統(tǒng)特性
1、主動(dòng)隔振系統(tǒng)（ais）為電氣式主動(dòng)隔振系統(tǒng)，能隔離較多至6個(gè)自由度方向的振動(dòng)。
2、型主動(dòng)隔振系統(tǒng)可以較大程度的抑制共振現(xiàn)象。
3、在水平和垂直方向上均具有優(yōu)異的位移精度控制。
4、即使在所承載設(shè)備上出現(xiàn)較大的載荷變化也不會(huì)有大幅度的位移變化且能在較短的時(shí)間內(nèi)恢復(fù)原有的水平精度。
5、具有強(qiáng)大的實(shí)時(shí)控制功能。
6、在控制箱（plc)的管理和監(jiān)控下每個(gè)自由度都有一個(gè)控制器和高速電磁閥進(jìn)行直接控制。
7、每個(gè)控制器（spc-lc)都內(nèi)含一個(gè)微處理器和三個(gè)傳感器（位移傳感器，加速度傳感器，氣壓傳感器）。
8、通過(guò)智能軟件winsni或者webvisufor 用戶可以方便快捷的對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化調(diào)整和監(jiān)控診斷。
9、通過(guò)數(shù)字i/o接口也可實(shí)現(xiàn)兩種工作模式的切換：掃描模式（應(yīng)用在對(duì)隔振要求較高的設(shè)備或儀器）；承載模式（應(yīng)用在經(jīng)常有載荷變化的設(shè)備或儀器）。
10、*設(shè)備提供前反饋信號(hào)。
數(shù)據(jù)線can - bus,
氣管和電磁閥連接線
plc 19寸控制箱
air box –氣路總成
bzlk -垂直空簧
控制器spc-lc-2
festo mpye電磁閥（費(fèi)斯托mpye系列電磁閥）
水平空氣軸承（帶水平空簧）
11、無(wú)熱輻射，電磁等干擾，與壓電陶瓷或音圈電機(jī)等類型的主動(dòng)系統(tǒng)相比耗電量很小。
應(yīng)用領(lǐng)域主動(dòng)隔振系統(tǒng)主要應(yīng)用在高精度測(cè)量檢測(cè)設(shè)備上或存在高動(dòng)態(tài)力影響下的精密測(cè)量測(cè)試設(shè)備，例如：圖形處理設(shè)備，激光設(shè)備，高精度電子顯微鏡或具有在線檢測(cè)功能的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。當(dāng)傳統(tǒng)空簧和機(jī)械式水平控制閥不能滿足設(shè)備的隔振效率或反應(yīng)時(shí)間等較高要求時(shí)，主動(dòng)隔振系統(tǒng)則成為可以選擇的方案。
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