POLOS? SPIN5000A 全自動勻膠旋涂系統(tǒng)
新品!polos® spin5000a全自動勻膠旋涂系統(tǒng)
polos® spin5000a是一款強大的旋轉(zhuǎn)涂布機系統(tǒng),專為研究和各種應(yīng)用的可變過程。它的特點是能夠可以定制和全自動操作,鋼制外殼保證了無污染的工作區(qū)域,其可靠的組件確保了可重復(fù)、可編程的旋轉(zhuǎn)過程,可反復(fù)旋轉(zhuǎn)高達500 x 500 mm的基板。
polos® spin5000a代表了下一代全自動場景旋涂系統(tǒng)!
polos® spin5000a全自動勻膠旋涂系統(tǒng)參數(shù)配置:
旋轉(zhuǎn)速度
1200 rpm
旋轉(zhuǎn)速度精度
0.1 rpm
自旋旋轉(zhuǎn)方向
順時針和逆時針
旋轉(zhuǎn)加速度
≤3000 rpm/s,取決于負載**
自由可編程輸出
20個步驟,20個配方(保存和加載)
基底直徑范圍
尺寸不大于700mm圓形或500 x 500mm方形的基板
滴膠噴嘴
3個噴嘴,自動分配(可選)
控制方式
8.5英寸觸摸屏
機身尺寸(桌面版)
1700mm(寬)× 2100mm(高)× 1700mm(深)
* *在沒有基底的情況下測量,根據(jù)使用的卡盤和基底規(guī)格,可能會有限制。