LT2 2軸納米位移平臺

lt2.100
lt2.200
lt2.300
運(yùn)動范圍xy（µm）
100
200
300
分辨率xy（nm）
0,1
0,2
0,3
典型的噪聲基準(zhǔn)xy（nm）
0,01
0,02
0,03
全方位的重復(fù)性xy（nm）
0,2
0,4
0,6
線性化（典型的）
0,02%
0,02%
0,02%
諧振頻率x / y（hz）
500/400
400/350
300/250
剛度(n/µm)
0,6/0,5
0,5/0,4
0,4/0,3
最da負(fù)載（kg）-水平使用
1
1
1
最da負(fù)載（kg）-垂直使用
0,5
0,5
0,5
傳感器
siliconhrsensor
siliconhrsensor
siliconhrsensor
尺寸wxlxh(mm)
155,5x152,5x15,5
155,5x152,5x15,5
155,5x152,5x15,5
材料
alorinvar
al
al
電纜長度（m）
2
2
2
推jian控制器
standard
standard
standard