半導(dǎo)體車(chē)間是整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要環(huán)節(jié)

車(chē)間的潔凈度是較關(guān)鍵的指標(biāo)。半導(dǎo)體制造需要在**潔凈環(huán)境下進(jìn)行,因?yàn)槲⑿m埃顆粒就可能造成嚴(yán)重缺陷。車(chē)間一般采用等級(jí)為100級(jí)或者10級(jí)的潔凈室,這意味著每立方米空氣中不**過(guò)100顆或10顆0.5微米以上的塵埃顆粒。這需要嚴(yán)格的空氣過(guò)濾系統(tǒng),以及嚴(yán)格的人員、物料進(jìn)出管控。
其次,車(chē)間的溫濕度控制也非常重要。半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)溫濕度有嚴(yán)格的要求,因?yàn)闇貪穸鹊淖兓瘯?huì)影響薄膜沉積、光刻等關(guān)鍵工藝。通常要求溫度在20±0.5攝氏度,相對(duì)濕度在45%±5%。這需要精密的溫濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)來(lái)維持較佳環(huán)境。
再次,靜電控制也是半導(dǎo)體車(chē)間建設(shè)的關(guān)鍵。靜電可能會(huì)干擾工藝設(shè)備,損壞晶圓表面。車(chē)間需要采取接地、離子風(fēng)扇、防靜電服裝等多重措施來(lái)消除靜電。
最后,振動(dòng)控制同樣重要。車(chē)間的地基需要采取減震措施,避免外部振動(dòng)傳遞到工藝設(shè)備上。同時(shí),設(shè)備本身也需要減震措施來(lái)抑制內(nèi)部振動(dòng)。
總的來(lái)說(shuō),半導(dǎo)體車(chē)間建設(shè)是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)工程,需要兼顧潔凈度、溫濕度、靜電、振動(dòng)等多方面因素,確保較佳的生產(chǎn)環(huán)境。只有建設(shè)出標(biāo)準(zhǔn)化、自動(dòng)化的高潔凈度車(chē)間,才能生產(chǎn)出高品質(zhì)的半導(dǎo)體產(chǎn)品。
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